Литна peoples.ru

Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Author: А. И. Мочалов, Е. В. Данилкин, В. А. Галперин

ISBN: 978-5-9963-2129-2

Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

Добавьте свою новость

Здесь