Литна peoples.ru

Технология материалов микро-, опто– и наноэлектроники. Часть 2. Учебное пособие

В первой части учебного пособия рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто- и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами.
Вторая часть пособия посвящена технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов.
Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.

Author: М. В. Силибин, В. М. Рощин

ISBN: 978-5-9963-2567-2

Технология материалов микро-, опто– и наноэлектроники. Часть 2. Учебное пособие

Добавьте свою новость

Здесь