Литна peoples.ru

Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Author: А. И. Мочалов, В. И. Шевяков, А. Д. Сулимин, Д. Г. Громов

ISBN: 978-5-9963-2569-6

Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

Добавьте свою новость

Здесь