Литна peoples.ru

Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

Author: Светлана Козубняк, Кирилл Потловский, Евгений Скороходов

ISBN: 978-5-7038-3729-0

Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Добавьте свою новость

Здесь