Литна peoples.ru

Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение

Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.

Author: Дмитрий Духопельников

ISBN: 978-5-7038-3798-6

Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение

Добавьте свою новость

Здесь